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功能薄膜特性測(cè)試儀
本測(cè)試儀是多用途綜合測(cè)量裝置，開(kāi)展半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x組成。四探針測(cè)試儀由主機(jī)、測(cè)試架等部分組成，測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。主機(jī)主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度
恒流源組成。非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測(cè)量系統(tǒng)等部分組成。
測(cè)量范圍：
電阻范圍：1×106～1×1017Ω；
電 阻 率：0.001～200Ωcm
電 導(dǎo) 率：0.005～1000s/cm
可測(cè)晶片直徑： 200mmX200mm
探 針：碳化鎢或高速鋼
探針間距：1±0.01mm
針間，緣電阻：≥1000MΩ
機(jī)械游移率：≤0.3%
本底真空度：≤10Pa
氣壓可控范圍：10～400Pa
襯底加熱 溫度：室溫～200℃